预清洗+清洗 : 化学 + DI water
 化学隔离 : 尽量减少由板子带入漂洗模块的预清洗水量。 气刀机械地剥去洗涤化学物质，将其返回清洗模块 。
水喷雾然后减少残留在板上的化学物质，然后空气刀再次机械地剥离稀释的化学物质，然后进入漂洗模块
漂洗 : 对被清洗的组件进行粗漂洗。
最后漂洗 : 提供组件在干燥之前遇到的最后一次冲洗。
干燥 : 干燥产品
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