预清洗&清洗 : 化学 + 去离子水. 可选配化学喷射泵。
化学隔离: 首先气刀 ,水再次会到清洗区.  喷淋水和2次气刀水回到排水管.
漂洗 : 冲洗水去排水管。这些水可以循环回DI水系统
最后漂洗 : 电阻率仪监测DI水质。流量计测量DI水的流量。去离子水连接漂洗槽。
干燥区1: 水会被气刀带入排水管.