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晶圆上下料机
OP010:晶圆传动单元 OP020:料盒定位单元 OP030:料盒升降单元 生产线的在线检测率:100%;要求每道工序需对上道工位进行防漏
OP010:晶圆传动单元
OP020:料盒定位单元
OP030:料盒升降单元
生产线的在线检测率:
100%
;要求每道工序需对上道工位进行防漏检测。
安全防护:运动部分有防护罩保护,
Operator: 1
人(主要是对振动盘进行补料,以及
tray
盘的上下料)
归正输送线
平移输送线
平行移载机
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