傅立叶变换红外光谱仪
硅中杂质分析---硅中间隙氧和代位碳含量的检测外延层厚度的测定---外延层厚，采用干涉图差减方法---外延层薄，采用倒谱计算方法钝化层分析-
硅中杂质分析 ---硅中间隙氧和代位碳含量的检测 外延层厚度的测定 ---外延层厚，采用干涉图差减方法---外延层薄，采用倒谱计算方法 钝化层分析 ---BPSG、PSG膜中B、P含量的测试 B&Р谱带重合→多组分分析
